L'azoto ad elevata-purezza viene utilizzato come gas protettivo e di trasporto nella produzione di circuiti integrati, semiconduttori e dispositivi elettronici sotto vuoto; funge da gas vettore nella deposizione di vapori chimici; trasporta il gas in sorgenti di diffusione liquida; e agisce come gas protettivo per i dispositivi nei forni a diffusione ad alta-temperatura.
L'azoto-puro è utilizzato come gas per lo spostamento, l'essiccazione, lo stoccaggio e il trasporto in processi quali epitassia, fotolitografia, pulizia ed evaporazione. Nella produzione di tubi a raggi catodici è richiesta una purezza dell'azoto pari o superiore al 99,99%. Nella tecnologia aerospaziale, i sistemi di rifornimento di idrogeno liquido devono essere prima spurgati con azoto ad elevata purezza, seguito da elio ad elevata purezza.
Nel dicembre 2025, l'Amministrazione statale per la regolamentazione del mercato ha approvato e rilasciato il materiale standard nazionale per l'azoto ad elevata-purezza, utilizzato in processi chiave come la pulizia, l'incisione e la deposizione nella produzione di dispositivi a semiconduttore, nonché in processi come la fotolitografia, l'impianto di ioni e l'ossidazione nella produzione di circuiti integrati.